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智能家居必须了解集成传感器和MEMS

分类:智能安防 作者:微甄智能 来源:网络
摘要:现在智能家居中的传感器基本都是集成传感器,集成传感器是利用集成电路工艺将半导体敏

如今,智能家居中的传感器基本上是集成传感器。集成传感器是小尺寸传感器,通过使用集成电路技术在一个芯片上集成半导体敏感元件和测量处理电路,具有成本效益且易于使用。

通过使用集成电路技术和微机械加工方法,可以将基于各种物理效应的机电敏感元件和处理电路集成在一个芯片上,以形成微机电系统(MEMS)传感器。

做智能家居必须懂集成传感器与MEMS

传感器敏感结构可以达到微米,亚微米,并且可以批量生产,具有体积小,重量轻,响应快,灵敏度高和成本低的优点。

中国的MEMS产业在世界上处于领先地位,包括中国人在美国进入火星的火车上发明的传感器。像MEMS加速度计和压力传感器一样广泛应用于汽车行业,就像智能家居中的一体化一样。检测传感器是MEMS的典型应用。

MEMS不仅基于电子工艺,还基于加工技术。

做智能家居必须懂集成传感器与MEMS

集成电路技术和微机械加工技术等新技术和新工艺的开发使传感器的集成和小型化成为可能。使用微机械加工技术制造的敏感元件通常采用微米尺寸,使用各向异性蚀刻,牺牲层压和LIGA工艺(即光刻,电铸和注塑成型)来创建大的层到层关系。差分三维微结构,包括可移动隔膜,悬臂梁,桥和槽,空隙,锥体等。

采用敏感结构和检测电路的单片集成技术可以避免多芯片组装过程中引脚引入的寄生效应,提高器件性能,提高抗干扰能力。微电子和微加工技术制造的微传感器采用系统级封装方式,体积小,重量轻,成本低,功耗低,可靠性高,适合大规模生产,与传统传感器相比。它易于集成和智能化,已成为智能家居决策系统的一部分。

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